Ein Fachgebiet der IOT ist:

• kundenspezifische Einzellösungen spezieller Plasma- und Ionenstrahlanlagen, für den Einsatz in der Dünnschicht- und Oberflächentechnik

und als Besonderheit

• Plasmaanlagen für die Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII) auch in Kombination mit Sputterquellen, zur gleichzeitigen Beschichtung (PIIID).

Seit über 15 Jahren beschäftigt sich IOT mit der Entwicklung kundenspezifischer Plasma- und Ionenstrahlanlagen für die Dünnschicht- und Oberflächentechnik und als Besonderheit auch mit speziellen Plasmaanlagen für die Plasma-Immersions-Ionenimplantation (PIII, PIIID).

Die IOT ist dabei Hersteller gesamter Anlagen inklusive einer Prozessentwicklung sowie Systemlieferant einzelner Baugruppen, den Plasma- und Ionenstrahlquellen.

Eine PIIID-Anlage sowie eine Vakuumanlage mit verschiedenen Ionenstrahlquellen betreibt die IOT im eigenen Entwicklungslabor in Leipzig. Interessierten Kunden stehen damit umfangreiche Möglichkeiten zur Verfügung, um Versuche und Tests zusammen mit der IOT durchzuführen. Die Ionenstrahlquellen können genauso für Versuchsreihen beim Kunden gemietet werden.

Prinzip:

Zuerst wird das Volumen des Edelstahlbehälters evakuiert, anschließend ein spezielles Prozessgas eingelassen, allerdings bei stark verdünntem Druck (ca. um einen Faktor 10.000 geringer sind als der normale Luftdruck). Durch Energieeinkopplung mittels einer Plasmaquelle wird ein Niederdruckplasma gezündet, welches über selektive Heizung der Elektronen erhalten wird.

Die IOT verfügt über Plasmaquellen:

• mit Mikrowellenanregung unter Ausnutzung des Elektronen-Zyklotron-Resonanz-Effektes (ECR),
• mit Anregung in einem HF-Feld bei 13,56 MHz (HF- Anregung)
• mit Anregung von Elektronen aus einer Glühkathode in einem Gleichspannungsfeld (DC-Anregung)