El microplegado producido por la lámpara Excimer de 172 nm (Excirad 172) no requiere medios de mateado en laca UV o laca EHE. Se alcanzan grados de brillo entre 1 y 20 sin problemas. La radiación a 172 nm, longitud de onda corta rica en energía, causa tanto la polimerización radical del acrilato como un entrecruzado adicional de los monómeros. Esto conlleva a un aumento significativo de la dureza de la superficie.

La radiación a 172 nm provoca la formación de radicales libres de los acrilatos, causando así una polimerización y un entrecruzado. La profundidad de penetración de los fotones en los acrilatos cae en el rango entre 0,1 y 0,5 nm y, por lo tanto, solamente una delgada capa superficial se entrecruza. El encogimiento debido a la polimerización provoca la formación de microestructuras. Una capa arrugada flota encima de la película líquida que se endurece por medio de una segunda fuente de radiación. Esto se puede lograr por medio de una lámpara Hg-UV, un haz de electrones o una lámpara Excimer de longitud de onda larga a 308 nm. Para evitar la formación de ozono, la irradiación se lleva a cabo dentro de una atmósfera de nitrogeno.